เนื่องจากซิลิกอนไนไตรด์สามารถเกิดพันธะที่แข็งแรงกับซิลิคอนคาร์ไบด์อลูมิเนียมออกไซด์ทอเรียมไดออกไซด์โบรอนไนไตรด์ ฯลฯ จึงสามารถใช้เป็นวัสดุยึดติดและปรับเปลี่ยนด้วยอัตราส่วนต่าง ๆ ได้ นอกจากนี้ซิลิคอนไนไตรด์ยังสามารถใช้กับเซลล์แสงอาทิตย์ได้อีกด้วย
Fter ฟิล์มซิลิคอนไนไตรด์ฝากโดย PECVD ไม่เพียง แต่จะสามารถใช้เป็นฟิล์มป้องกันแสงสะท้อนเพื่อลดการสะท้อนของแสงที่ตกกระทบ แต่ยังในระหว่างการสะสมของฟิล์มซิลิคอนไนไตรด์อะตอมของผลิตภัณฑ์ไฮโดรเจนจะเข้าสู่ซิลิคอน ฟิล์มไนไตรด์และแผ่นเวเฟอร์ซิลิกอนเล่นบทบาทของข้อบกพร่องทู่
อัตราส่วนจำนวนซิลิกอนไนไตรด์ต่อซิลิกอนไนไตรด์ที่นี่ไม่ได้เป็น 4: 3 โดยเฉพาะ แต่จะผันผวนในช่วงหนึ่งตามเงื่อนไขกระบวนการที่แตกต่างกัน คุณสมบัติทางกายภาพของฟิล์มบางที่สอดคล้องกับอัตราส่วนอะตอมที่แตกต่างกันนั้นแตกต่างกันใช้ในกังหันก๊าซอุณหภูมิสูงพิเศษเครื่องยนต์อากาศยานเตาไฟฟ้า ฯลฯ
